Для выпуска микросхем восстанавливают советский ускоритель частиц

В Зеленограде новосибирские ученые приступили к восстановлению накопительного комплекса, а по сути ускорителя частиц, построенного, но не запущенного в работу сразу после распада Советского Союза.

Как во время создания, так и сейчас комплекс планируется использовать как часть литографического оборудования для производства микросхем.

Да, габариты ускорителя не сопоставимы с литографическими сканерами монополиста в этой отрасли — компании ASML. Если нидерландские сканеры компактны и легко транспортируются в любую точку мира, то в случае с зеленоградским ускорителем смысл несколько в ином. Он уже есть и его не нужно создавать с нуля, когда затраты могут превысить десяток миллиардов рублей. На восстановление же, которое займет около 3-х лет, потребуется всего полмиллиарда.

Важно учитывать, что данный технологический накопительный комплекс будет самостоятельным промышленным объектом, специализированным на получении потока излучения или плазмы для создания рисунка на кремниевых пластинах. Кроме того, ускоритель будет использоваться на стадии первичной подготовки пластин, который заключается в насыщении кремния ионами, что придает пластинам требуемые свойства.

Отличительной особенностью использования синхротрона в производстве микроэлектроники является перспектива освоения мезмасочного способа создания чипов.

Работы над созданием сканеров, использующих излучение синхротрона, уже ведутся и первую продукцию планируется получить уже через пять лет.

Технология не направлена на массовый сектор потребления, а призвана устранить зависимость на критических направлениях. Это будет мелкосерийное производство специфических чипов, когда стоимость имеют второстепенное значение.